第五代SFJ-231型氦质谱检漏仪

SFJ-231型氦质谱检漏仪

性能特点：

• 德国原装分子泵，双铱带离子源
• 独特的气路设计，较低的颗粒物干扰
• 自保护功能，防止本底被污染
• 自动抽空压力和时间设定，检漏效率高
• 带故障提示和报警功能
• 可选无线遥控功能

SFJ-231D型半导体专用氦质谱检漏仪

性能特点

• 德国原装分子泵，干式真空泵，双铱带离子源
• 独特的气路设计，较低的颗粒物干扰
• 自保护功能，防止本底被污染
• 自动抽空压力和时间设定，检漏效率高
• 移动式推车，较低的移动噪音
• 带故障提示和报警功能
• 可选无线遥控功能